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TsolidX 3D結(jié)構(gòu)生成軟件
時(shí)間:2022-11-03 20:50來(lái)源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印
1. 軟件簡(jiǎn)介
 
TSolidX基于實(shí)際半導(dǎo)體工藝和掩模版圖設(shè)計(jì)的3D建模軟件,借助易于使用的UI,可以提供三種類型的3D建模結(jié)構(gòu)(實(shí)體模型,曲面三角網(wǎng)格,3D四面體網(wǎng)格)作為可在商業(yè)CAD,CAE,CAM軟件中使用的各種CAx格式數(shù)據(jù)。

1.1 應(yīng)用領(lǐng)域
 
TSolidX能生成多種3D模型:
OLED像素結(jié)構(gòu);
PCB襯底設(shè)計(jì);
散熱器結(jié)構(gòu);
生物醫(yī)學(xué)傳感器;
太陽(yáng)能電池;
 
1.2 主要功能
 
內(nèi)置布局編輯器,并且可以通過Skill語(yǔ)言界面直接從其他商業(yè)布局運(yùn)行;
高級(jí)mesh生成技術(shù):用多樣的結(jié)構(gòu)生成功能創(chuàng)建真實(shí)的結(jié)構(gòu);
可以定義各種堆棧信息和過程條件(厚度,臺(tái)階覆蓋率,平面度,錐度模型,非選擇性蝕刻,蝕刻阻擋層等),這些各種高級(jí)功能可以幫助生成準(zhǔn)確的3D網(wǎng)格結(jié)構(gòu);
提供了蝕刻工藝選項(xiàng),包括非選擇性蝕刻,蝕刻停止劑,濕法蝕刻功能,半色調(diào)掩模進(jìn)行的部分蝕刻;
提供3種3D網(wǎng)格類型:錐形,錐形保形和曼哈頓;
附加布局程序,為“ TSolid Viewer”,可以識(shí)別GDS文件以及2D掩膜板設(shè)計(jì);
有多種類型的CAx格式文件可用于導(dǎo)出數(shù)據(jù):對(duì)于實(shí)體模型,提供了step和IGES格式,對(duì)于3D三角形網(wǎng)格,提供了STL, Stanford triangle, Nastran, alias/wavefront/autocad dxf等,為3D四方網(wǎng)格提供了Nastran,ansys,Gmsh,abaqus輸入格式,為滿足客戶的需求,也可以添加特定的格式文件;
提供自適應(yīng)和非結(jié)構(gòu)化網(wǎng)格算法,可以控制邊緣,表面和體積條件;
通過使用變量功能可以非常輕松快捷地生成各種3D網(wǎng)格結(jié)構(gòu),可設(shè)置的變量參數(shù):厚度,水平度(平面化),錐角和寬度,CD余量,圓角倒圓和移位距離;
支持分布式和并行計(jì)算方法
 
1.3 應(yīng)用舉例
 
下圖顯示了帶有體積網(wǎng)格的太陽(yáng)能電池的輸出文件,從正面,側(cè)面和俯視圖來(lái)看,該文件稱為3D四方網(wǎng)格。

 
執(zhí)行變形分析

 
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