1. 軟件簡介
TRCX非常適合大尺寸的觸控屏、LCD、OLED面板的高級的RC分析,可用于任何形狀的3D結構,可以快速地進行RC提取。
1.1 應用領域
TRCX提供精確的RC提取,能提升產品開發(fā)效率:
TFT和顯示器結構創(chuàng)建;
有損電介質求解;
重復結構模擬;
大面積的精準快速模擬;
觸摸屏模擬;
指紋傳感;
面板內RC提;
電極的電流密度分析;
1.2 主要功能
內置布局編輯器,并且可以通過Skill語言界面直接從其他商業(yè)布局運行;
使用TechWiz 布局進行掩膜版設計時,可導入TDB和GDS文件;
完整的3D生成器,多樣的生成條件,提供多種刻蝕過程條件;
Layout模塊使用簡易的設定模式提供用戶快速的設定與檢視所生成的3D結構;
加載GDS時,用戶可以設置虛擬多邊形的去除條件,以加快并穩(wěn)定網格生成;
提供三種3D網狀形狀:錐形、錐形保形和曼哈頓;
摻雜金屬化:用戶可以通過自我調整的掩膜板定義摻雜的區(qū)域;
提供自適應和非結構化網格算法,可以控制邊緣,表面和體積條件;
具有強大的解決方案,可自動定義電極名稱,只需選擇電極即可獲得RC提取結果;
通過使用變量功能可以非常輕松快捷地生成各種3D網格結構,可設置的變量參數:厚度,水平度(平面化),錐角和寬度,CD余量,圓角倒圓和移位距離;
支持分布式和并行計算方法
也適用于LSF平臺;
1.3 應用舉例
可以將結構參數設置為變量,執(zhí)行高級工藝余量分析,如圖顯示了根據柵極掩膜的覆蓋率的電容結果,通過使用split選項,工程師可以通過門極掩膜的未對準來預測錯誤率。
為有損介電材料提供復數求解器,左邊的圖片描述了具有低和高電導率的有損耗電介質的電勢分布。右邊的這是一個電容的計算結果。
進行大面積的電阻計算,利用分區(qū)模擬提高計算速度。
手指在TSP中的位置的電位分布模擬,根據計算數據顯示電容計算的結果。
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