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蛾眼減反結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與加工承接

蛾眼結(jié)構(gòu)可以減少反射率，原因在于：當(dāng)材料表面納米結(jié)構(gòu)尺度小于光波長(zhǎng)時(shí)，光波無(wú)法辨認(rèn)出該納米結(jié)構(gòu)，而圓錐型的蛾眼結(jié)構(gòu)可以使材料表面的折射率沿深度方向呈連續(xù)變化，從而減小折射率急劇變化所造成的反射。

對(duì)于抗反射蛾眼2D周期性亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)，需要對(duì)其進(jìn)行嚴(yán)格的矢量計(jì)算和分析，通過(guò)使用VirtualLab Fusion提供的傅里葉模態(tài)法（Fourier Modal Method，F(xiàn)MM）以及參數(shù)運(yùn)行（New Parameter Run）和參數(shù)優(yōu)化（New Parameter Optimization）功能，可以實(shí)現(xiàn)不同角度以及不同波長(zhǎng)條件下低反射率的蛾眼結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。

目前，我們采用納米壓印技術(shù)，可以在玻璃或塑料膜表面制作大面積的蛾眼結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)減反效果。在可見光范圍內(nèi)可以將材料表面的反射率降低到小于0.2%。在紅外波段，結(jié)合納米壓印和等離子刻蝕工藝，可以在硅表面加工蛾眼結(jié)構(gòu)來(lái)減少其對(duì)紅外光的反射。