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角分辨散射測量儀ALBATROSS

左圖：角分辨光散射測量儀ALBATROSS；右圖：532 nm濾光片在不同波長下的ARS分布。

 

系統(tǒng)簡介
 

ALBATROSS（3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement ）是一個大型的測量樣本反射光，透射光，以及散射光分布的實(shí)驗(yàn)室測量系統(tǒng)。其特點(diǎn)是對角度的靈敏度高，并且該系統(tǒng)可以測量三維空間中的散射分布。被測樣本包含光學(xué)和非光學(xué)表面以及其他光學(xué)材料和光學(xué)元件。其光源系統(tǒng)為變頻OPO激光，也可測量光散射的光譜特性。

 

特征及技術(shù)參數(shù)
 

-  可測量參數(shù)：散射光（角分辨散射ARS，雙向反射分布BRDF，

-  雙向透射分布BTDF，散射損耗），θ-2θ測量，反射，透射。（3D）

-  入射光與探測器可共面或異面。

-  入射角，散射角（方位角和極角）以及光源的偏振態(tài)均可調(diào)整。

-  可對樣品進(jìn)行掃描。

-  動態(tài)范圍： 13個數(shù)量級。

-  最低ARS級別：5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。

-  對粗糙度的最小分辨率：< 0.1 nm 。

-  波長范圍：225 nm 至 1750 nm (光譜帶寬<0.05 nm)。

-  樣本規(guī)格：最大尺寸直徑700mm。

-  方便操作的測量及分析軟件。

-  可分析值： 粗糙度，PSD等。

 

應(yīng)用
 

對表面，薄膜以及材料性質(zhì)進(jìn)行表征和分析

-  產(chǎn)品質(zhì)量檢測。

-  光學(xué)性能分析。

-  粗糙度分析。