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利用衍射擴散器使準分子激光光束均勻化(2)

時間:2011-08-25 09:34來源:訊技光電作者: 技術部點擊:次打印

·相位階數(shù)：8

發(fā)散傳輸器相位

載入光路徑圖

·載入文件HSL.002_Homogenization_Excimer_Laser_by_DOE_01.lpd。

· 該文件在本案例VL_Samples文件夾中。

高斯型面光源

雙擊Gaussian Type Plane Source打開編輯對話框。

·Gaussian Type Plane Source利用一些非相干高斯光源來模擬空間相干光源。

· 光源需通過以下設置來對準分子激光束建模。

· 第一步將波長設為351nm。

· 在Power Spectrum Type下拉框中選擇Single Wavelength。（VirtualLab同樣支持多波長的模擬。）

·轉到Spatial Parameters

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