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本案例介紹利用衍射擴散器使準分子激光光束均勻化，通過優(yōu)化擴散器以生成一個圓形的top hat。

關鍵詞：衍射光學，衍射光學元件，均勻（homogenization），擴散器，準分子激光，部分相干

所需工具箱：Starter Toolbox Premium

相關Tutorials：HSL.1, DO.2

建模任務

 衍射擴散傳輸器                          目標平面

          準分子激光                聚焦透鏡（f=20mm）                強度分布

照射光束參數(shù)

 

·光源面尺寸：100×100um

·發(fā)散角（HWHM）：0.89×0.89°

·空間相干長度：3×3 um

·波長：351nm

 

衍射發(fā)散器

 

·取樣間隔：5um

·尺寸：640×640um