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JCMsuite應(yīng)用：閃耀光柵

時(shí)間:2021-12-21 21:36來(lái)源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印

這是一維周期線(xiàn)光柵案例的一個(gè)變形。它的靈感來(lái)自閃耀光柵。在一維線(xiàn)柵的案例中，周期單元晶胞包含通過(guò)光柵的二維橫截面。這里的橫截面包含兩個(gè)寬度、高度和角度不同的三角形。這些三角形線(xiàn)條位于襯底上，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線(xiàn)柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。

光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。同時(shí)通過(guò)后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度。

S偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度

P偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度

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