發(fā)布日期:2013年12月
更新服務(wù):2013第4季度
要求已經(jīng)安裝了VirtualLabTM 5.8版
VirtualLabTM 5.9版主要提高了任意位置上元件之間傳播的仿真,光路元件之間傳播的文件可以在TN.040說明書中找到,VirtualLabTM 5.9提供了以下的一些新功能和增強(qiáng)功能?梢酝ㄟ^www.lighttrans.com找到新的應(yīng)用案例和教程。
定位和公差
- 允許探測器的橫向定位
元件
- Identity操作符可以設(shè)置為僅作為坐標(biāo)斷點(diǎn)使用,用戶可以在identity操作編輯框中選擇該選項(xiàng)。
探測器
- 用戶可以指定中心方向是在虛擬屏幕內(nèi)或是角譜觀測儀上。
- 光束參數(shù)探測器允許設(shè)置限幅閾值來濾掉數(shù)值噪聲。
光源
- 遠(yuǎn)場光源允許設(shè)置在xy坐標(biāo)下的數(shù)據(jù)調(diào)制,此外在遠(yuǎn)場光源中輸入的數(shù)據(jù)處理方式是一樣的。對照明工具箱中的性能進(jìn)行了優(yōu)化。
傳播
- 在應(yīng)用P操作符之前,用戶可以定義場尺寸和方向來進(jìn)行優(yōu)化,該操作在光路仿真設(shè)置中完成。
- 在P操作符優(yōu)化中,由場數(shù)據(jù)生成一根輔助光線,該輔助光線用來計(jì)算場傳播的最佳傳播參數(shù)。場的平均方向也用來預(yù)算與場相關(guān)的光程長度。
- 在自由空間傳播前,光路圖的仿真設(shè)置可以指定傾斜閾值,用于線性相位的優(yōu)化。
- 物理光學(xué)傾斜算子允許定義一個過采樣因子來提高精度。
- 幾何光學(xué)傾斜的默認(rèn)擬合方法變成了線性、球面、柱面擬合。
- 用戶可以定義光波從光束整形元件到成像探測器(在照明工具箱的光路圖中)的光學(xué)傳輸方法。
導(dǎo)入/導(dǎo)出
- 為了便于接口之間的導(dǎo)出,確保了像素尺寸是1nm的倍數(shù),否則,在有些情況下文件與GDSII或CIF的標(biāo)準(zhǔn)不一致。
視圖和數(shù)據(jù)陣列
- 在諧波場和諧波場集合中不再默認(rèn)顯示球面相位因子。
處理
- 一些理想元件和探測器利用解析的方法處理存儲在入射場中的線性相位。
- 在參數(shù)運(yùn)行中可以設(shè)置涂層參數(shù)了。
- 改進(jìn)后的采樣評估算法在執(zhí)行橫向位移操作后還可以處理軸向球面相位。
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