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LCD Master/3D 8.0

 

1.幾點(diǎn)改進(jìn)

 

以下三點(diǎn)是改進(jìn)之處，用了2個(gè)月來實(shí)現(xiàn)。LCD Master 在輸入結(jié)構(gòu)方面與T軟件（韓國(guó)制造）比較起來存在一點(diǎn)不足，但LCD Master在其他方面有優(yōu)勢(shì)。

 

1.如何定義輸入結(jié)構(gòu)

 

結(jié)構(gòu)層（GDSⅡ結(jié)構(gòu)應(yīng)用）的變化（圖5至圖7）

 

未改進(jìn)之前：

 

-Ceiling 和 Floori層結(jié)構(gòu)堆積，將LC兩層都連接在一起 

 

改進(jìn)之后：

 

-有相同的制造過程，每個(gè)結(jié)構(gòu)都堆積在TFT和CF基底（沒有了Ceiling 和Floor的概念）（Fig .5）

-層的定義中指定了厚度，重疊，以及偏振參數(shù)

-例如杯狀的特殊結(jié)構(gòu)，其層是有限的

-可像之前一樣設(shè)置每部分的偏移量

 

圖5 新層結(jié)構(gòu)

<添加層>

・按照默認(rèn)設(shè)置厚度和極化參數(shù)

・用二維CAD編輯掩模圖案

・虛擬層厚度和物理屬性的設(shè)置

 

 

圖6模型繪制流程

 

・從GDS層列表中選擇一個(gè)層

 

 

圖7模型繪制流程（GDS輸入）