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光學(xué)干涉測量系統(tǒng)的物理光學(xué)仿真

LightTrans 講座
 

SPIE Photonics West 2019 大會
 

光學(xué)干涉測量系統(tǒng)的物理光學(xué)仿真
 

SPIE OPTO – 第一場： 光子儀器的設(shè)計(jì)、改進(jìn)及制造
 

時(shí)間：2019年2月5日│ 14:20 ─ 14:40
 

Site Zhang, Rui Shi, Christian Hellmann, and Frank Wyrowski
 

基于干涉儀的現(xiàn)代光學(xué)測量技術(shù)在諸多領(lǐng)域發(fā)揮著重要的作用，并往往包含多種類型元件。而改善系統(tǒng)性能或豐富系統(tǒng)功能的新方法，通常會產(chǎn)生系統(tǒng)分析和組裝的問題。為解決這一問題，我們提出一種基于物理光學(xué)的仿真途徑。該方法從光源的電磁表征出發(fā)，可以進(jìn)行相干和偏振的模擬。我們演示了如何在選定的經(jīng)典干涉測量裝置中集成新組件（從顯微鏡物鏡到衍射、微納米結(jié)構(gòu)），并測量所得系統(tǒng)是否滿足功能需求。

 

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