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用于光學(xué)檢測的斐索干涉儀
時(shí)間:2023-04-24 10:35來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印
摘要
  
斐索干涉儀是工業(yè)上常見的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,通常用于高精度測試光學(xué)表面的質(zhì)量。在VirtualLab Fusion中通道配置的幫助下,我們建立了一個(gè)Fizeau干涉儀,并將其用于測試不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形表面。結(jié)果表明,表面輪廓對干涉條紋的產(chǎn)生是敏感的。

 
建模任務(wù) 
 
 
測試表面

 
非序列追跡

 
通用探測器和探測器附加組件
 
 
總結(jié)-組件


 
觀測下的傾斜平面

 
被觀測圓柱面
 
 
被觀測球面

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