摘要
F-Theta透鏡通常用于基于掃描式的激光材料加工系統(tǒng)。使用這種透鏡,聚焦光斑沿目標(biāo)平面的位移與透鏡焦距和掃描角度的乘積成正比。然而,不存在完美的F-Theta系統(tǒng),因此在任何給定的系統(tǒng)中,偏離理想行為的偏差都是可以預(yù)期的。借助快速物理光學(xué)建模和設(shè)計(jì)軟件VirtualLab Fusion中的掃描源,通過(guò)測(cè)量不同角度下實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差,分析了給定F-Theta透鏡的性能。
建模任務(wù)
系統(tǒng)構(gòu)建塊-掃描源
How to Set Up a Scanning Source
系統(tǒng)構(gòu)建塊-透鏡系統(tǒng)組件
系統(tǒng)構(gòu)建塊-參數(shù)耦合
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion
系統(tǒng)構(gòu)建塊-失真分析儀
實(shí)際焦點(diǎn)位置與參考焦點(diǎn)位置之間的偏差表明了F-Theta透鏡的性能。這些信息可以使用Distortion Analyzer計(jì)算。
雖然實(shí)際焦點(diǎn)點(diǎn)位置將由模擬計(jì)算,但參考焦點(diǎn)點(diǎn)位置可以指定為角度本身或其切線上的線性。
通用探測(cè)器和探測(cè)器附加組件
Universal Detector允許用戶評(píng)估探測(cè)器接收到的光場(chǎng),并通過(guò)使用所謂的附加組件計(jì)算各種物理量。附加組件可以相互提供信息(即,它們可以嵌套);在我們的例子中,我們使用場(chǎng)數(shù)據(jù)來(lái)計(jì)算輻射能密度,然后使用該數(shù)據(jù)上的另一個(gè)附加項(xiàng)來(lái)獲得場(chǎng)大小(FWHM)。更多資料見(jiàn):
Universal Detector
總結(jié)-組件…
系統(tǒng)觀感
通過(guò)系統(tǒng):三維可視化,不同F(xiàn)oV模式可以通過(guò)顏色編碼來(lái)區(qū)分。此外,可以檢查場(chǎng)的軌跡,以便將探測(cè)器放置在正確的位置。
性能評(píng)估-點(diǎn)位偏差
性能評(píng)估-光斑直徑測(cè)量
文件信息
進(jìn)一步閱讀
• Performance Analysis of Laser Scanning System
• How to Set Up a Scanning Source
• Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion
• 3D Visualization of the Optical System
• Universal Detector
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