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F-Theta掃描鏡頭的性能評估
時(shí)間:2022-08-23 17:46來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印
摘要
 
F-Theta 透鏡通常用于Galvo類掃描儀的激光材料加工系統(tǒng)。 對于這樣的鏡頭,聚焦點(diǎn)沿目標(biāo)平面的位移與鏡頭焦距和掃描角度的乘積成正比。然而,沒有完美的 F-Theta 系統(tǒng),因此在任何給定的系統(tǒng)中都會出現(xiàn)與理想行為的偏差。 借助快速物理光學(xué)建模和設(shè)計(jì)軟件 VirtualLab Fusion 中的掃描源,我們通過測量不同角度下實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差來分析給定 F-Theta 透鏡的性能。
 
任務(wù)描述
 
系統(tǒng)構(gòu)建模塊 - 掃描光源
  
 
 
可以使用掃描光源定義生成一組在不同方向傳播的截?cái)嗥矫娌ǖ亩嗄9庠础?/div>
 
用戶可以指定應(yīng)考慮多少模式并定義強(qiáng)度分布。 更多信息如下:

如何設(shè)置一個(gè)掃描光源
 
系統(tǒng)構(gòu)建模塊 – 鏡頭系統(tǒng)組件

  
鏡頭系統(tǒng)組件允許輕松定義由各種界面組成的組件。 可以包括例如:平面、球形和圓柱形界面以及配置它們之間的介質(zhì)。
 
VirtualLab Fusion技術(shù)系統(tǒng)構(gòu)建塊——參數(shù)耦合

  
通過參數(shù)耦合,可以將系統(tǒng)中不同參數(shù)的值聯(lián)系起來。 在此用例中,此功能用于自動將探測器圍繞所需焦點(diǎn)居中。 更多信息如下:

VirtualLab Fusion中的參數(shù)耦合
 
系統(tǒng)構(gòu)建模塊——畸變分析器

 
實(shí)際焦點(diǎn)位置與參考焦點(diǎn)位置之間的偏差表明了 F-Theta 鏡頭的性能。 可以使用畸變分析器計(jì)算此信息。
 
雖然實(shí)際焦點(diǎn)位置將通過模擬計(jì)算,但參考焦點(diǎn)位置可以指定為角度本身的線性或其切線。
 
總結(jié)-組件…


 
系統(tǒng)印象

 
性能評估 – 光斑位置偏差

畸變分析器可以快速估計(jì) F-Theta 鏡頭的性能,可以通過將場傳播到焦平面來進(jìn)行驗(yàn)證。
 
性能評估 - 光斑直徑測量


 
光斑直徑(FWHM)

 
此外,該結(jié)果可用于對 F-theta 系統(tǒng)產(chǎn)生的斑點(diǎn)進(jìn)行更深入的分析。 例如,對光斑大小的檢查表明,對于更高的輸入角度,單個(gè)焦點(diǎn)變得越來越橢圓。
 
VirtualLab Fusion技術(shù)

 
文件信息

 
更多閱覽
- Performance Analysis of Laser Scanning System
- How to Set Up a Scanning Source
- Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion
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