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泰伯效應(yīng)

在衍射光學(xué)中，當(dāng)周期性結(jié)構(gòu)被準(zhǔn)直光照射時(shí)，可以觀察到在物體后面周期性距離處形成的周期性結(jié)構(gòu)的圖像。這就是眾所周知的 Talbot 效應(yīng)（用所謂的 Talbot 距離來(lái)描述周期性間隔），它已經(jīng)在例如光刻中得到了常規(guī)應(yīng)用。

 

利用快速物理光學(xué)建模和設(shè)計(jì)軟件VirtualLab Fusion的場(chǎng)跟蹤技術(shù)，可以充分研究這種效應(yīng)及其應(yīng)用。請(qǐng)看下面的例子，在這些例子中，我們用線性和交叉圖案演示Talbot效應(yīng)的基本原理，并更仔細(xì)地研究特定的光刻應(yīng)用，以產(chǎn)生納米結(jié)構(gòu)。

 

圓錐相位掩模版的泰伯成像
 

 

在VirtualLab Fusion中對(duì)帶有一層圓錐體的相位掩模板進(jìn)行了嚴(yán)格的建模。檢測(cè)到不同的Talbot圖像，其中柱圖案在主圖像平面中再現(xiàn)，而孔圖案在次圖像平面中再現(xiàn)。

 

泰伯效應(yīng)的建模
 

 

我們演示了Talbot效應(yīng)的建模，Talbot效應(yīng)是一種眾所周知的來(lái)自周期結(jié)構(gòu)(如光柵)的近場(chǎng)衍射效應(yīng)。