久久精品国产亚洲av瑜伽-日本理伦片午夜理伦片-大胆gogo高清在线观看-成熟人妻av无码专区

訊技光電公司首頁 最新公告:2024年訊技課程安排發(fā)布啦! 黌論教育網(wǎng)校|English|全站搜索|聯(lián)系我們
欄目列表
NEWSLETTER
最新發(fā)布

由陡峭浮雕結(jié)構(gòu)引起的干涉儀

在VirtualLab Fusion中的可編

光路元件的位置和方向

高NA透鏡的脈沖聚焦

基于Pancake系統(tǒng)的折反射成像

SSTF中脈沖前傾的仿真

將文本文件如光場等導(dǎo)入Virtu

利用空間濾波“清理”激光光

用于光束切趾的圓形鋸齒光闌

高質(zhì)量激光光束光學(xué)系統(tǒng)中的

衍射級次偏振態(tài)的研究
時(shí)間:2022-06-26 19:27來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印
摘要
 
光柵結(jié)構(gòu)廣泛應(yīng)用于各種光學(xué)應(yīng)用場景,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)、脈沖整形等。快速物理光學(xué)軟件VirtualLab Fusion通過使用傅里葉模態(tài)方法(FMM,也稱為RCWA),為任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析提供了通用和方便的工具。為此,復(fù)雜的一維或二維周期結(jié)構(gòu)可以使用界面和調(diào)制介質(zhì)進(jìn)行配置,這允許任何類型的光柵形貌進(jìn)行自由的配置。在此用例中,詳細(xì)討論了衍射級次的偏振態(tài)的研究。

 
任務(wù)說明
 
 
簡要介紹衍射效率與偏振理論
某個(gè)衍射級次(𝑛)的效率表示有多少的輻射功率被衍射到這個(gè)特定的級次中。它是由復(fù)數(shù)值瑞利系數(shù)計(jì)算出來的,瑞利系數(shù)包含了每個(gè)衍射級次(矢量)電磁場的全部信息。瑞利系數(shù)本身是由FMM對光柵的特征值問題進(jìn)行嚴(yán)格分析的結(jié)果。
如果在TE/TM坐標(biāo)系(CS)中給出瑞利系數(shù),則可以計(jì)算衍射效率:
其中,n_in/n_out為覆蓋層和襯底層的折射率,ϑ_in/ϑ_out為所分析的階次的入射角和衍射角。此外,𝐴表示輻射光的振幅。
如果瑞利系數(shù)沿𝑥、𝑦和𝑧給出瑞利系數(shù),則必須應(yīng)用以下方程:
因此,必須考慮所給出的瑞利系數(shù)的坐標(biāo)系。默認(rèn)情況下,光柵坐標(biāo)系中為。

光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)
研究了一種矩形光柵結(jié)構(gòu)。
為了簡化設(shè)置,選擇光柵配置,只允許零階(R_0)反射傳播。
根據(jù)上述參數(shù)選擇以下光柵參數(shù):
光柵周期:250 nm
填充因子:0.5
光柵高度:200 nm
材料n_1:熔融石英(來自目錄)
材料n_2:二氧化鈦(來自目錄)
 
 
偏振態(tài)分析
現(xiàn)在,用TE偏振光照射光柵,并應(yīng)用圓錐入射角(𝜑)變量。
如前所述,瑞利系數(shù)的平方振幅將提供關(guān)于特定級次的偏振態(tài)的信息。
為了接收瑞利系數(shù)作為檢測器的結(jié)果,需要選擇光柵級次分析器件中的單個(gè)級次輸出,并選擇所需的系數(shù)。
 
 
模擬光柵的偏振態(tài)

 
瑞利系數(shù)現(xiàn)在提供了偏振態(tài)的信息:
在圓錐入射角為0(𝜑=0)時(shí),。這說明衍射光是完全偏振的。
對于𝜑=22°,。此時(shí),67%的光是TM偏振的。
對于𝜑>50°,系數(shù)接近為常數(shù),因此偏振態(tài)也是常數(shù)。
 
Passilly等人更深入的光柵案例
Passilly等人的工作研究并優(yōu)化了亞波長光柵下衍射光譜的偏振態(tài),以獲得不同狀態(tài)之間的高度轉(zhuǎn)換。
因此,他們將模擬結(jié)果與制作樣品的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行了比較。

 
光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)
在本文中,研究了兩種不同的制備光柵結(jié)構(gòu)。
由于加工造成的光柵的理想二元形狀的一些偏差是可以預(yù)料的,而且確實(shí)可以觀察到:在基板和側(cè)壁上存在不完全平行的欠刻蝕部分。
由于缺少關(guān)于制作結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié),我們將其簡化為VirtulLab Fusion中的模擬。
但是如果有可用數(shù)據(jù),就可以詳細(xì)分析光柵的復(fù)雜形狀。
 
光柵#1——參數(shù)
假設(shè)側(cè)壁傾斜為線性。
忽略了襯底中的欠刻蝕部分。
為了實(shí)現(xiàn)光柵脊的梯形形狀,采用了傾斜光柵介質(zhì)。
光柵周期:250 nm
光柵高度:660 nm
填充因子:0.75(底部)
側(cè)壁角度:±6°
n_1:1.46
n_2:2.08

 
光柵#1——結(jié)果
這兩幅圖對比之下匹配度很高,特別是圖表的趨勢。
與參考文獻(xiàn)相比,仿真中光柵結(jié)構(gòu)進(jìn)行了簡化,存在一些小的偏差。由于缺乏關(guān)于實(shí)際的更詳細(xì)的光柵結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù),這種簡化是必要的。

  
 
光柵#2——參數(shù)
假設(shè)光柵為矩形。
忽略了襯底中的欠刻蝕部分。
矩形光柵足以表示這種光柵結(jié)構(gòu)。
光柵周期:250 nm
光柵高度:490 nm
填充因子:0.5
n_1:1.46
n_2:2.08
 
 
光柵#2——結(jié)果
這兩幅圖對比之下再次顯示出非常好的匹配度,特別是圖表的趨勢。
與參考文獻(xiàn)相比,仿真中光柵結(jié)構(gòu)進(jìn)行了簡化,存在一些小的偏差。由于缺乏關(guān)于實(shí)際的更詳細(xì)的光柵結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù),這種簡化是必要的。
  
 
文檔信息

 
拓展閱讀
- 超稀疏介質(zhì)納米線柵偏振器
- 抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與設(shè)計(jì)
關(guān)于我們
公司介紹
專家團(tuán)隊(duì)
人才招聘
訊技風(fēng)采
員工專區(qū)
服務(wù)項(xiàng)目
產(chǎn)品銷售
課程中心
專業(yè)書籍
項(xiàng)目開發(fā)
技術(shù)咨詢
聯(lián)系方式
地址:上海市嘉定區(qū)南翔銀翔路819號中暨大廈18樓1805室    郵編:201802
電話:86-21-64860708/64860576/64860572  傳真:86-21-64860709
課程:course@infotek.com.cn
業(yè)務(wù):sales@infotek.com.cn
技術(shù):support@infotek.com.cn
官方微信
掃一掃,關(guān)注訊技光電的微信訂閱號!
Copyright © 2014-2024 訊技光電科技(上海)有限公司, All Rights Reserved. 滬ICP備10008742號-1