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集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析

1. 摘要

在最近的幾十年里，COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發(fā)展至2um，甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時(shí)，這也為覆蓋在每個(gè)像素上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中，我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在仿真分析中采用嚴(yán)格的FMM / RCWA以檢測(cè)微透鏡的有效性。  

 

2. 建模任務(wù)

 

采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)

 

采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)

 

 

3. 2 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)

  

4. 1.8 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)

 

5. 1.6 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)

 

6. 3D仿真與結(jié)果對(duì)比

 

7. 走進(jìn)VirtualLab Fusion

 

8. VirtualLab Fusion的工作流程

 

9. VirtualLab Fusion技術(shù)

 

10. 文件信息

 

更多信息
-     Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers
-     Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
-     Configuration of Grating Structures by Using Special Media