1. 摘要
高NA物鏡廣泛用于光刻,顯微等技術(shù)。因此,聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡,可以清楚地觀察由于矢量效應(yīng)引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠?qū)劢箙^(qū)域進行靈活全面的研究,進而加深對矢量效應(yīng)的理解。
2. 建模任務(wù)
3. 概述
示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡
下一步,我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。
4. 光線追跡仿真
首先,選擇“Ray Tracing System Analyzer”作為仿真引擎。
點擊“Go!”。
隨即獲得3D光線追跡結(jié)果
然后,選擇“Ray Tracing”作為仿真引擎。
點擊“Go!”。
隨即獲得點列圖(2D光線追跡結(jié)果)。
5. 場追跡仿真
轉(zhuǎn)換到場追跡,并選擇“Field Tracing 2nd Generation”作為仿真引擎。
點擊“Go!”。
6. 場追跡結(jié)果(相機探測器)
上圖所示為僅通過疊加Ex和Ey場分量得到的強度分布。
下圖所示為通過疊加Ex,Ey和Ez分量得到的強度分布:由于在高NA條件下相對較大Ez分量,導(dǎo)致聚焦光斑明顯的失對稱性。
7. 場追跡結(jié)果(電磁場探測器)
利用電磁場探測器,我們可以獲得多有電磁場分量的結(jié)果
8. 文件信息
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