摘要
光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務。效率可由瑞利系數(shù)計算得到，對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。
光柵詳細說明
•為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。
•可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。
光柵階次分析器設置
•定義光柵結構后，可以配置光柵階次分析器。
•可以指定各種輸出選項。
•可以在光學設置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。
常規(guī)設置
•在“常規(guī)”選項卡中，可以選擇是否分析透射率和/或反射率。
•另外，可以指定是否要評估透射、吸收和反射的總和，以及是否要顯示極坐標圖。
單個階次設置
•在“單個階次”選項卡中，可以選擇是否記錄單個階次的信息。
•如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運行或參數(shù)優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定階次的光柵，則此選項非常有用。
單個階次設置
探測器標簽頁中的輸出
•如果在光學設置中處理了光柵階次分析器，則單階次輸出值將記錄到檢測器結果選項卡中。
•這些值在參數(shù)運行和參數(shù)優(yōu)化中也可用。
極坐標圖中的輸出
•光柵階次分析器的極坐標圖輸出繪制了反射階和透射階的效率與x-z平面中角度的關系。
•它還提供了一個表格，顯示了階次的所有角度和效率。
極坐標圖設置
•可以使用鼠標滾輪、屬性窗口和功能區(qū)來放大極坐標圖。
•可以通過右鍵單擊圖表來配置顯示哪些階次。
階次匯集輸出
•“光柵階次匯集”對象用于在不同坐標上可視化計算出的光柵效率或瑞利系數(shù)。
•用戶可以通過屬性瀏覽器設置各種選項來配置應顯示的數(shù)據(jù)
階次匯集設置
階次匯集設置
•在屬性瀏覽器的視圖選項卡中，用戶可以設置其他視圖參數(shù)。
•對于自定義視圖，最重要的是顏色設置。
•用戶可以選擇視圖的背景色以及用于定義顯示顏色數(shù)據(jù)值的顏色查找表。
自定義階次匯集設置的例子
自定義階次匯集設置的例子
自定義階次匯集設置的例子
錐形衍射的可視化
•在光柵的位置和方向定義中，用戶可以定義任意方向。
•可以在光柵的編輯對話框中的“位置/方向”選項卡中完成。
•此例中，Theta = 40°和Phi = 40°。
效率vs衍射階次
效率vs衍射階次位置
效率vs衍射階次笛卡爾角
文件信息
拓展閱讀
|
