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傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與容差分析

摘要

對于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說，光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個重要問題。對于這些應(yīng)用，眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對于預(yù)定義方向的級次，優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。

 

建模任務(wù)

 

1階的參數(shù)優(yōu)化

 

結(jié)果-容差分析

 

結(jié)果-容差分析

 

在VirtualLab Fusion中查看

 

 

VirtualLab Fusion的工作流程

 

•構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu)

 - 使用特殊介質(zhì)配置光柵結(jié)構(gòu)[用例]

 - 傾斜光柵的高級配置[用例]

•分析光柵衍射效率

 - 光柵級次分析器[用例]

•使用參數(shù)優(yōu)化優(yōu)化光柵參數(shù)

•使用參數(shù)運(yùn)行進(jìn)行容差分析

 - 參數(shù)運(yùn)行文檔的用法[用例]

 

VirtualLab Fusion技術(shù)

 

文件信息

 

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