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納米柱陣列超穎表面構(gòu)建模塊的嚴(yán)格分析
時間:2019-06-04 16:19來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印
摘要
 
利用先進(jìn)的制造技術(shù),人們成功實(shí)現(xiàn)了具有高數(shù)值孔徑的可見波長的超透鏡。通常使用空間變化的納米結(jié)構(gòu)作為模塊來構(gòu)建超透鏡。在這個例子中分析了用于組成偏振不敏感超透鏡的納米柱狀結(jié)構(gòu)。利用傅立葉模態(tài)方法(FMM,也稱為RCWA),嚴(yán)格計算這種納米柱的振幅和相位傳輸。

 
建模任務(wù)

 
納米柱分析vs柱子直徑

 
納米柱分析vs柱子直徑

 
附錄:TiO2的折射率

 
圖表來源于R. C. Devlin, M. Khorasaninejad, W.-T. Chen, J. Oh, F. Capasso, arXiv:1603.02735 (2016)
 
VirtualLab Fusion視圖

 
VirtualLab Fusion工作流程
 
構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu)
分析光柵衍射效率
 - 光柵級次分析器[用例]
 
使用參數(shù)運(yùn)行檢查特定參數(shù)的影響
VirtualLab Fusion技術(shù)

 
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