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抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴格分析與設(shè)計

摘要

對于許多光學應(yīng)用來說需要減少表面反射�？刂票砻娣瓷涞囊环N非常有效的方法是使用抗反射的納米或微米結(jié)構(gòu)，啟發(fā)來源于自然界（蛾眼）。這些具有亞波長范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出關(guān)于波長和角度依賴性的獨特性質(zhì)。在本文中，介紹了VirtualLab Fusion中確定抗反射結(jié)構(gòu)的分析和設(shè)計。

 

設(shè)計任務(wù)

 

如何優(yōu)化抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的參數(shù)？最小化空氣-PMMA界面的反射？
 

掃描參數(shù)空間以獲取初始解

 

初始解#1的參數(shù)優(yōu)化

 

最終設(shè)計#1的性能分析

 

初始解#2的參數(shù)優(yōu)化

 

最終設(shè)計#1的性能分析

 

VirtualLab Fusion一瞥

 

VirtualLab Fusion中的工作流程

 

 構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu)

─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces

─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media

 分析光柵衍射效率

─ Grating Order Analyzer

 使用參數(shù)運算尋找初始解

─ Usage of the Parameter Run Document

 使用參數(shù)優(yōu)化確定最終解

 

VirtualLab Fusion技術(shù)

 

文件信息

 

further reading

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