摘要
在VirtualLab Fusion中，用戶可以在光學(xué)表面定義任意區(qū)域。光柵界面/堆�？梢蕴砑拥竭@個(gè)區(qū)域內(nèi)。為了在區(qū)域內(nèi)簡(jiǎn)便地定義光柵的方向，可以使用兩個(gè)角度：“指向（關(guān)于z軸旋轉(zhuǎn)）”和“關(guān)于y軸旋轉(zhuǎn)180”。這個(gè)用例展示了如何設(shè)置這兩個(gè)角度去控制某個(gè)區(qū)域內(nèi)光柵的方向。目前僅在Waveguide工具箱中支持光柵區(qū)域的設(shè)置。
建模任務(wù)
在一個(gè)表面的光柵區(qū)域中定義光柵方向，使用了“
─ 指向（關(guān)于z軸旋轉(zhuǎn)），使用鋸齒光柵說(shuō)明。
─ 關(guān)于y軸旋轉(zhuǎn)180，使用矩形光柵說(shuō)明。
示例
通過(guò)設(shè)置光柵和界面的坐標(biāo)系的關(guān)系，可以定義界面上的光柵方向。
─ 藍(lán)色坐標(biāo)系代表光柵坐標(biāo)系，黑色坐標(biāo)系代表界面坐標(biāo)系。
─ 通過(guò)設(shè)置指向（關(guān)于z軸旋轉(zhuǎn)）（Orientation (Rotation about z-Axis)）和關(guān)于y軸旋轉(zhuǎn)180（Rotation about y-Axis by 180），在界面坐標(biāo)系中，光柵坐標(biāo)系進(jìn)行了旋轉(zhuǎn)。
─ 我們還將在遠(yuǎn)離光柵的探測(cè)器平面中顯示衍射階數(shù)，以給出光柵方向。
關(guān)于z軸旋轉(zhuǎn)的圖示
使用鋸齒光柵說(shuō)明指向（關(guān)于z軸旋轉(zhuǎn)）（Orientation (Rotation about z-Axis)）。
光柵關(guān)于y軸是非對(duì)稱的，所以+1st和-1st階的衍射效率并不是對(duì)稱的。所以，我們可以很容易地從檢測(cè)到的衍射階數(shù)看到光柵旋轉(zhuǎn)引起的效果。
指向（關(guān)于z軸旋轉(zhuǎn)）:0°
注意：默認(rèn)坐標(biāo)系的所有基本矢量（x，y，z矢量）完全相同。
指向（關(guān)于z軸旋轉(zhuǎn)）: 30°
注意：方向角度的定義為：
─ 關(guān)于界面坐標(biāo)軸。
─ 逆時(shí)針?lè)较颉?br />
指向（關(guān)于z軸旋轉(zhuǎn)）: -90°
注意：方向角度非常靈活，可以根據(jù)用戶偏好定義為從-360到360任意值。
關(guān)于y軸旋轉(zhuǎn)180°示例
使用矩形光柵界面（注意光柵堆棧也可以放在界面上）說(shuō)明關(guān)于y軸旋轉(zhuǎn)180（Rotation about y-Axis by 180）。當(dāng)相對(duì)狹縫占寬不是50%，界面兩側(cè)介質(zhì)固定時(shí)，旋轉(zhuǎn)前和旋轉(zhuǎn)后給出了兩種不同的光柵堆棧，這導(dǎo)致了衍射效率的不同分布。
關(guān)于y軸旋轉(zhuǎn)180°（未選中）
注意：
默認(rèn)時(shí)，為了保持光柵坐標(biāo)系和界面坐標(biāo)系的重疊，光柵添加到光學(xué)界面的右側(cè)（z軸和z‘軸相同）。
坐標(biāo)系定義與光柵工具箱中稍有不同，因?yàn)樵诠鈻殴ぞ呦渲校?/div>
─ 如果光柵界面加在襯底的第一層界面，其z軸和x軸與平面界面的方向完全相反。
─ 如果光柵界面加在襯底的第二層界面，坐標(biāo)系完全相同，但與此處相比（假設(shè)襯底是二氧化硅）第二個(gè)界面前后的材料相反。
關(guān)于y軸旋轉(zhuǎn)180（選中）
注意：
矩形光柵界面關(guān)于光學(xué)界面的y軸旋轉(zhuǎn)180，所以看到光柵接口兩側(cè)的材料都切換了，所以光柵堆棧變成了例2.
例1和例2的附加信息
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