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VirtualLab Fusion應(yīng)用：X射
VirtualLab Fusion應(yīng)用：導(dǎo)入

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檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng)

時(shí)間:2018-01-19 11:55來(lái)源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印

成像系統(tǒng)>包括光柵

任務(wù)/系統(tǒng)說(shuō)明

亮點(diǎn)

 在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)）

 嚴(yán)格分析光柵衍射效率

 考慮入射光的方向分布

說(shuō)明：光源

說(shuō)明：光束分束器

說(shuō)明：檢測(cè)透鏡系統(tǒng)

說(shuō)明：微型晶片

說(shuō)明：檢測(cè)物鏡

說(shuō)明：探測(cè)器

結(jié)果：3D光線追跡（只有0級(jí)）

結(jié)果：3D光線追跡（所有級(jí)）

結(jié)果：光線追跡

結(jié)果：場(chǎng)追跡

結(jié)果：線性偏振光的場(chǎng)追跡

文檔和技術(shù)信息

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