案例190（3.0）
該應用案例描述了具有亞波長結構尺寸的柱型抗反射光柵的嚴格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進行了分析。
1. 建模任務
2. 建模任務:介質參數
3. 結構參數
優(yōu)化過程中保持不變的參數：
1. 圓柱的水平間距：250nm
2. 圓柱的垂直間距：125nm
3. 列距：125nm
優(yōu)化過程中變化的參數：
1. 圓柱高度(圓柱直徑= )
2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結果)
4. 3維柱型結構的建模
VirtualLab為設計3 維柱型結構提供任意選項。
在LightTrans 定義的庫中可以選擇不同的柱型和基底材料。
如，可選擇矩形柱或橢圓柱。
通過選擇足夠的柱間距和適當的“列距”，可實現多種橫向布局(如矩形或六邊形)。
5. 柱高的優(yōu)化
利用參數運行文檔，找到最佳的柱高(最低的反射率)
反射率最低值在維持在~110nm的柱高范圍內(對于正入社的TM偏振光)。
6. 柱直徑的優(yōu)化
相似的參數運行可顯示最佳的柱直徑(考慮到優(yōu)化柱高)。
反射率最低值在柱直徑~140nm處獲得(對于正入社的TM偏振光)。
7. 優(yōu)化后柱型光柵結構的結果
柱高：110nm
柱直徑：140nm
8. 角度關系的分析
當入射角小于50°時，抗反射結構顯著的降低反射率(近似于0)。
由于采用偏振光(TM)，以55°入射在無柱狀抗反射結構的平面上時，反射率為0(所謂的布儒斯特角)。
9. 波長靈敏度分析
抗反射結構在寬光譜范圍內(可見光范圍)降低了反射率，此處顯示的是垂直入射。
利用在532nm的優(yōu)化策略使反射率最低值出現在532nm處
10. 總結
VirtualLab中的光柵工具箱可對亞波長兩級的3維光柵結構進行嚴格的分析。
這種分析采用了VirtualLab光柵工具箱中的全矢量傅里葉模態(tài)法。
利用參數運行，可進行光柵參數的優(yōu)化以及光學函數的執(zhí)行。
利用參數運行功能，也可對3維周期結構與入射角度和波長的關系進行分析。
|
