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精確分析衍射1:6光束分束器(2)

時(shí)間:2011-08-25 09:45來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印

入射角：0度

建模任務(wù)

Ø 在DO.005的應(yīng)用案例中優(yōu)化得到的衍射1:6光束分束器的高度分布圖

建模任務(wù)

Ø 光束分束器的優(yōu)化采用傍軸近似

Ø 由于光束分束器是傍軸的，周期非常大（126um）

Ø 光束分束器的高度分布將用于進(jìn)一步精確分析

Ø 應(yīng)該檢查傍軸設(shè)計(jì)模型的周期仍然有效

光路徑圖

幾何光學(xué)模擬結(jié)果

結(jié)論

Ø VirtualLab可以精確分析任意表面的光柵

Ø 波長(zhǎng)量級(jí)周期光柵的精確分析揭示不對(duì)稱和零級(jí)次

Ø 參數(shù)運(yùn)行改變光柵參數(shù)并研究其對(duì)衍射各級(jí)次效率的影響

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