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² 下面部分可以定義結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)格式

 

² VirtualLab產(chǎn)生兩種不同類型的文件:

 

—參數(shù)匯總文件包括大部分輸入?yún)?shù)的概括,如蝕刻深度,設(shè)計(jì)波長(zhǎng),元件名稱等等。數(shù)據(jù)可以存儲(chǔ)為.xml, .html或者

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