1. 介紹軟件
1.1 運(yùn)行程序
1.2 創(chuàng)建一個(gè)簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)
1.3 繪圖和制表來(lái)表示性能
1.4 3D繪圖-用兩個(gè)變量繪圖表示性能
1.5 創(chuàng)建一個(gè)默認(rèn)設(shè)計(jì)
1.6 文件位置
2. 通過(guò)剪貼板和文件導(dǎo)入導(dǎo)出數(shù)據(jù)
3. 約定-程序中使用的各種術(shù)語(yǔ)的定義
3.1 厚度(物理厚度,光學(xué)厚度[FWOT,QWOT],幾何厚度)
3.2 單位定義
3.3 軟件如何進(jìn)行數(shù)據(jù)插值
3.4 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann)
4. 特定設(shè)計(jì)的公式技術(shù)
5. 交互式繪圖
6. 薄膜設(shè)計(jì)技術(shù):設(shè)計(jì)不同類型薄膜
6.1 抗反射膜
6.2 短波通/長(zhǎng)波通濾波片
6.3 帶通濾波片
6.4 斜入射薄膜
6.5 優(yōu)化
6.5.1 目標(biāo)
6.5.2 方法(Simplex, Optimac, Simulated Annealing, Conjugate Gradient, Quasi-Newton, Needle, Differential Evolution, Non-Local)
6.5.3 鎖定和關(guān)聯(lián)膜層
6.6 包含基底影響
6.7 錐角和帶寬計(jì)算
6.8 簡(jiǎn)單的公差
6.9 顏色模型(tristimulus, chromaticity, CIE L*A*B*, CIE L*U*V*, dominant wavelength)
7. 光學(xué)常數(shù)推導(dǎo)
7.1 測(cè)量vs模型擬合
7.2 用包絡(luò)法推導(dǎo)介質(zhì)膜的光學(xué)常數(shù)
7.3 利用光譜儀的測(cè)量值計(jì)算基底的光學(xué)常數(shù)
7.4 推導(dǎo)金屬薄膜和其它吸收膜的光學(xué)常數(shù)
8. 反演工程
8.1 鍍膜過(guò)程中兩種主要的誤差(系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差)
8.2 使用反演工程來(lái)控制對(duì)設(shè)計(jì)的搜索,該設(shè)計(jì)代表實(shí)際生產(chǎn)的產(chǎn)品。
8.3 多個(gè)解問(wèn)題的探索
9. Runsheet:使用光學(xué)監(jiān)控計(jì)算沉積過(guò)程中的預(yù)期信號(hào)
9.1 簡(jiǎn)單光控的描述
9.2 Tooling Factors
9.3 Machine Configuration-指定鍍膜設(shè)備的功能
9.4 Runsheet-顯示鍍膜過(guò)程中預(yù)期的監(jiān)測(cè)信號(hào)
9.5 案例-截至濾光片
10. Report Generator
10.1 定制打印輸出
10.2 可用于控制打印輸出的指令包括:
10.2.1 頁(yè)面
10.2.2 表格
10.2.3 繪圖
10.2.4 其它文件和數(shù)據(jù)源的信息
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1. 中國(guó)學(xué)員收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn):6,800RMB/人(含港澳臺(tái))
2. 海外學(xué)員收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn):1,200USD/人
※此費(fèi)用包含課程學(xué)費(fèi),課程期間含午餐和茶點(diǎn),含訊技與Macleod原廠聯(lián)合頒發(fā)證書
※學(xué)員需自帶有管理員權(quán)限的電腦,訊技準(zhǔn)備Thin Film Center Inc公司提供的Macleod完整版軟件
※本課程將另外配中文解說(shuō)員1名,訊技資深工程師將提供現(xiàn)場(chǎng)協(xié)助 |